今天低温等离子电源厂家来给大家讲解一下等离子清洗的分类。
等离子体与固体表面发生反应可以分为物理反应和化学反应。物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面被真空泵吸走；化学反应机制是各活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质。
以物理反应为主的等离子体清洗，也叫做溅射腐蚀或离子铣，其优点在于本身不发生的化学反应，清洁表面不会留下氧化物，可以保持被清洗物的化学纯净性，腐蚀作用各向异性；缺点就是对表面产生了很大的损害，会产生很大的热效应，对被清洗表面的各不同物质选择性差，腐蚀速度较低。以化学反应为主的等离子体清洗的优点是清洗速度较高、选择性好、对清掉污染物有用，缺点是会在表面产生氧化物。
和物理反应相比较，化学反应的缺点不易克服。并且两种反应机制对表面微观形貌造成的影响有不同，物理反应能够使表面在分子类范围内变得&濒诲辩耻辞;粗糙&谤诲辩耻辞;，从而改变表面的粘接特性。还有一种
等离子体清洗是表面反应机制中物理反应和化学反应都起重要作用，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗可以互相促成，离子轰击使被清洗表面产生损坏削弱其化学键或者形成原子态，容易吸收反应剂，离子碰撞使被清洗物加热，使之容易产生反应；其作用是既有较好的选择性、清洗率、均匀性，又有较好的方向性。
